กรุณาใช้ตัวระบุนี้เพื่ออ้างอิงหรือเชื่อมต่อรายการนี้:
https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/1669| ชื่อเรื่อง: | เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ |
| ชื่อเรื่องอื่นๆ: | Nano-Thin film coater by vacuum evaporation technique |
| ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน: | สุรสิงห์ ไชยคุณ นิรันดร์ วิทิตอนันต์ มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์ |
| คำสำคัญ: | ฟิล์มบางนาโน ฟิล์มบางอะลูมิเนียม ระบบระเหยสาร เครื่องเคลือบในสุญญากาศ สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์ |
| วันที่เผยแพร่: | 2558 |
| สำนักพิมพ์: | คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา |
| บทคัดย่อ: | เครื่องเคลือบระบบระเหยสารสาหรับฟิล์มบางนาโนถูกสร้างและทดสอบในโครงการวิจัยนี้ เครื่องเคลือบที่สร้างมีส่วนประกอบหลัก 3 ส่วน ได้แก่ (1) ส่วนสุญญากาศ (vacuum parts) ประกอบด้วยห้องเคลือบทรงกระบอกทาจากสเตนเลส ความสูงเท่ากับ 285 mm มีเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากับ 205 mm และ ระบบ เครื่องสูบสุญญากาศใช้เครื่องสูบแพร่ไอซึ่งมีเครื่องสูบกลโรตารีเป็นเครื่องสูบท้าย พร้อมวาล์วและมาตรวัดความดัน (2) ส่วนการเคลือบ (coating parts) ประกอบด้วยตัวระเหยสารแบบลวดต้าน ภาคจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่า-กระแสสูง และแท่นวางชิ้นงาน และ (3) ส่วนควบคุมการทางาน (control parts) สาหรับคุม ระบบสุญญากาศและการเคลือบ สาหรับผลการทดสอบเครื่องเคลือบใน 2 ด้านคือ (1) ด้านสุญญากาศ พบว่าเครื่องเคลือบที่สร้างขึ้นสามารถลดความดันในห้องเคลือบจากความดันบรรยากาศ (10+3 mbar) ลงมาเท่ากับ 4.5x10-5 mbar ในเวลา 10 นาที และ (2) ด้านการเคลือบ พบว่าสามารถเคลือบฟิล์มบาง อะลูมิเนียมที่มีลักษณะเนียบเรียบและสม่าเสมอดี |
| URI: | http://dspace.lib.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/1669 |
| ปรากฏในกลุ่มข้อมูล: | รายงานการวิจัย (Research Reports) |
แฟ้มในรายการข้อมูลนี้:
| แฟ้ม | ขนาด | รูปแบบ | |
|---|---|---|---|
| 2559_004.pdf | 4.81 MB | Adobe PDF | ดู/เปิด |
รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น