เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ

Abstract

เครื่องเคลือบระบบระเหยสารสาหรับฟิล์มบางนาโนถูกสร้างและทดสอบในโครงการวิจัยนี้ เครื่องเคลือบที่สร้างมีส่วนประกอบหลัก 3 ส่วน ได้แก่ (1) ส่วนสุญญากาศ (vacuum parts) ประกอบด้วยห้องเคลือบทรงกระบอกทาจากสเตนเลส ความสูงเท่ากับ 285 mm มีเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากับ 205 mm และ ระบบ เครื่องสูบสุญญากาศใช้เครื่องสูบแพร่ไอซึ่งมีเครื่องสูบกลโรตารีเป็นเครื่องสูบท้าย พร้อมวาล์วและมาตรวัดความดัน (2) ส่วนการเคลือบ (coating parts) ประกอบด้วยตัวระเหยสารแบบลวดต้าน ภาคจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่า-กระแสสูง และแท่นวางชิ้นงาน และ (3) ส่วนควบคุมการทางาน (control parts) สาหรับคุม ระบบสุญญากาศและการเคลือบ สาหรับผลการทดสอบเครื่องเคลือบใน 2 ด้านคือ (1) ด้านสุญญากาศ พบว่าเครื่องเคลือบที่สร้างขึ้นสามารถลดความดันในห้องเคลือบจากความดันบรรยากาศ (10+3 mbar) ลงมาเท่ากับ 4.5x10-5 mbar ในเวลา 10 นาที และ (2) ด้านการเคลือบ พบว่าสามารถเคลือบฟิล์มบาง อะลูมิเนียมที่มีลักษณะเนียบเรียบและสม่าเสมอดี