การเตรียมฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง สำหรับงานด้านเคลือบเพื่อความสวยงาม

Abstract

ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์เคลือบบนวัสดุรองรับต่าง ๆ ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง โดยได้ศึกษาผลของกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบไทเทเนียม และเวลาในการเคลือบที่มีต่อสมบัติ ทางกายภาพของฟิล์มที่เคลือบได้ด้วย XRD, SEM, AFM, Raman spectroscopy, XPS และ UV-vis spectrophotometry จากผลการทดลองของฟิล์มที่เคลือบได้ด้วยกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสาร เคลือบไทเทเนียมต่าง ๆ พบว่า ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์ที่เคลือบได้บนแผ่นซิลิกอนและ กระจกสไลด์ มีโครงสร้างผลึกแบบเฟซเซ็นเตอร์คิวบิก และเมื่อกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบ ไทเทเนียมเพิ่มขึ้น มีผลทำให้ฟิล์มที่เคลือบได้มีความเป็นผลึก ความหยาบผิว ขนาดเกรน ความหนา และอัตราส่วนของไทเทเนียมต่อคาร์บอนมีค่าเพิ่มขึ้น โดยที่กระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบ ไทเทเนียมเท่ากับ 500 mA ทำให้ฟิล์มที่เคลือบได้บนวัสดุรองรับต่างๆ เป็นสารประกอบไทเทเนียม คาร์ไบด์ที่มีสีเทา ส่วนผลการทดลองของฟิล์มไทเทเนียมคาร์ไบด์เคลือบได้ด้วยเวลาในการเคลือบ ต่างๆ พบว่า เมื่อเวลาในการเคลือบเพิ่มขึ้น ส่งผลให้ฟิล์มมีความเป็นผลึก ความหยาบผิว ขนาดเกรน ความหนาและค่าการสะท้อนแสงเพิ่มขึ้น แต่ทำให้อัตราส่วนของไทเทเนียมต่อคาร์บอนมีค่าลดลง โดยผลการวัดสีในระบบ CIE L*a*b* พบว่าสีของฟิล์มทั้งหมดที่เคลือบได้ที่เวลาต่างๆ อยู่ในโทนสีเทา