สุรสิงห์ ไชยคุณ; นิรันดร์ วิทิตอนันต์; อดิศร บูรณวงศ์
(คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2558)
ฟิล์มบางวาเนเดียมไนไตรด์ (VN) เคลือบบนกระจกสไลด์และแผ่นซิลิกอน ด้วยวิธีรีแอคทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง เพื่อศึกษาผลของอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและกระแสไฟฟ้าต่อโครงสร้างฟิล์ม ลักษณะเฉพาะของฟิล์มที่เคลือบได้ศึกษาด้วยเทคนิค XRD, AFM, ...