ฟิล์มบางโครเมียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ (CrAlN) เคลือบบนกระจกสไลด์และแผ่นซิลิกอนด้วยวิธีดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง โดยใช้โครเมียมและอะลูมิเนียมเป็นเป้าสารเคลือบ เพื่อศึกษาผลของอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและกระแสสปัตเตอริงของเ ...

ฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ (TiCrN) เคลือบด้วยวิธีรีแอกทีฟดีซีแมกนีตรอนโคสปัตเตอริงบน กระจกสไลด์และแผ่นซิลิกอน เพื่อศึกษาผลของอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและกระแสสปัตเตอริงเป้าโครเมียม ต่อโครงสร้างของฟิล์มที่เคลือบได้ โดย ...