กัญจน์ชญา หงส์เลิศคงสกุล; นิรันดร์ วิฑิตอนันต์; อรรถพล เชยศุภเกตุ
(คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2556)
การผลิตฟิล์มบางอะลูมิเนียมโดปซิงค์ออไซด์ด้วยระบบดีซี แมกนิตรอน สปัตเตอริงจะทำการได้จากสปัตเตอร์เป้าอะลูมิเนียมและเป้าซิงค์ ฟิล์มอะลูมิเนียมโดปซิงค์ออกไซด์จะสะสมลงบนแผ่นรองรับควอตซ์และซิลิกินภายใต้ความดัน 5.5x10 -3 mbar ...