กรุณาใช้ตัวระบุนี้เพื่ออ้างอิงหรือเชื่อมต่อรายการนี้: https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/1837
ชื่อเรื่อง: การเตรียมชั้นเคลือบแข็งของโครเมียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ ด้วยวิธีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
ชื่อเรื่องอื่นๆ: Preparation of chromium aluminium nitride hard coating by reactive magnetron co-sputtering method
ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน: อดิศร บูรณวงศ์
สุรสิงห์ ไชยคุณ
นิรันดร์ วิทิตอนันต์
มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
คำสำคัญ: กระแสสปัตเตอริง
ดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
ฟิล์มบาง
โครเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์
อัตราไหลแก๊สไนโตรเจน
สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์
วันที่เผยแพร่: 2558
สำนักพิมพ์: คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
บทคัดย่อ: ฟิล์มบางโครเมียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ (CrAlN) เคลือบบนกระจกสไลด์และแผ่นซิลิกอนด้วยวิธีดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง โดยใช้โครเมียมและอะลูมิเนียมเป็นเป้าสารเคลือบ เพื่อศึกษาผลของอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและกระแสสปัตเตอริงของเป้าอะลูมิเนียมต่อโครงสร้างของฟิล์ม ทั้งนี้ลักษณะเฉพาะของฟิล์มที่เคลือบได้ศึกษาด้วยเทคนิค XRD, AFM, EDS และ FE-SEM ผลการศึกษาพบว่า ฟิล์มที่เคลือบได้เป็นสารละลายของแข็งของ (Cr,Al)N ระนาบ (111), (200) และ (220) โครงสร้างของฟิล์มแปรตามอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและกระแสสปัตเตอริงของเป้าอะลูมิเนียม (1) สาหรับกรณีแปรค่าอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนขนาดผลึกและค่าคงที่แลตทิซมีค่าอยู่ในช่วง 17.7 – 33.5 nm และ 4.139 - 4.162 Å ตามลาดับ ความหนาและความหยาบผิวของฟิล์มมีค่าลดลงจาก 400 nm เป็น 244 nm และ 2.8 nm เป็น 1.4 nm เมื่อเพิ่มอัตราไหลแก๊สไนโตรเจน ผลการวิเคราะห์ภาคตัดขวางแสดงให้เห็นว่าฟิล์มมีโครงสร้างแบบคอลัมนาร์ และฟิล์มที่เคลือบได้มีโครเมียม อะลูมิเนียมและไนโตรเจนเป็นองค์ประกอบในอัตราส่วนต่าง ๆ แปรตามอัตราไหลแก๊สไนโตรเจน โดยความแข็งของฟิล์มบางที่เคลือบได้มีค่าอยู่ในช่วง 14.1 – 60.3 GPa และ (2) สาหรับกรณีแปรค่ากระแสสปัตเตอริงของเป้าอะลูมิเนียม ขนาดผลึกและค่าคงที่แลตทิซ มีค่าเท่ากับ 39.1 nm และ 3.987 Å ตามลาดับ ความหนาและความหยาบผิวของฟิล์มมีค่าเพิ่มขึ้น จาก 347 nm เป็น 1047 nm และ 2.8 nm เป็น 3.4 nm ตามลาดับเมื่อเพิ่มค่ากระแสสปัตเตอริงของเป้าอะลูมิเนียม ผลการวิเคราะห์ภาคตัดขวางแสดงให้เห็นว่าฟิล์มมีโครงสร้างแบบคอลัมนาร์ และฟิล์มที่เคลือบได้มีโครเมียม อะลูมิเนียมและไนโตรเจนเป็นองค์ประกอบในอัตราส่วนต่าง ๆ แปรตามค่ากระแสสปัตเตอริงของเป้าอะลูมิเนียม ส่วนความแข็งของฟิล์มบางที่เคลือบได้มีค่าอยู่ในช่วง 45.9 – 70.5 GPa
URI: http://dspace.lib.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/1837
ปรากฏในกลุ่มข้อมูล:รายงานการวิจัย (Research Reports)

แฟ้มในรายการข้อมูลนี้:
แฟ้ม ขนาดรูปแบบ 
2565_215.pdf7.48 MBAdobe PDFดู/เปิด


รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น